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気圧センサ

 

気圧センサとは?

気圧センサとは大気の圧力を検知するセンサです。
圧力センサには、測定する圧力値などにより、下図のような様々な材料や方式のセンサが存在します。
この圧力センサのうち、大気圧を検知(気圧検知を目的)するセンサを一般的に気圧センサと呼んでいます。

【使用材料-方式から見た圧力センサ】

使用材料-方式から見た圧力センサ

気圧センサの代表的なものとして、シリコン(Si)半導体を使用したピエゾ抵抗方式のものがあげられます。
ロームの取り扱っている気圧センサもこのピエゾ抵抗方式の気圧センサです。

ピエゾ抵抗方式の気圧センサ

ピエゾ抵抗方式の圧力センサは、Si単結晶板をダイヤフラム(受圧素子)とし、その表面に不純物を拡散させ抵抗ブリッジ回路を形成、圧力が加わった時の抵抗ブリッジのひずみを抵抗値変化として検出し、圧力(気圧)を算出します。

【ピエゾ抵抗式気圧センサ】

【ピエゾ抵抗式気圧センサ】

この抵抗に加わった圧力によって抵抗率(電気導電率)が変化する現象を、ピエゾ抵抗効果と呼んでおり、ロームの気圧センサICはこのピエゾ抵抗式受圧素子(ダイヤフラム構造とピエゾ抵抗を集積化したMEMS)と温度補正処理、制御回路等を含めた集積回路(ASIC)を1パケージ化したものとなっており、簡単に高精度な気圧情報を取得することができます。

MEMS:Micro Electro Mechanical System(微小電気機械システム)
機械要素部品、センサやアクチュエータ(駆動部)等を1つの基板上に集積化したデバイスのことをいいます。

ASIC:Application Specific Integrated Circuit(特定用途向け集積回路)
特定の用途を対象に、複数の回路機能を1つにまとめた集積回路のことをいいます。

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