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薄膜ピエゾMEMSピエゾ関連用語

 

ピエゾ関連用語

ピエゾに関連する用語について簡単に説明します。

用語 説明
ピエゾ(Piezo) 圧電素子( piezoelectric element、piezoelectric device)のこと
圧電効果 力(圧力)を加えることで、電圧が発生する現象
逆圧電効果 電圧加えることで、変形が現れる現象
圧電素子 圧電効果、逆圧電効果を利用した部品、デバイス
センサ 現象や情報などを科学的原理を応用し、電気信号などに置き換える装置
アクチュエータ 電気などのエネルギーを機械的な動きに変換し、機器を動かす駆動装置
イオン 電子の過剰、または欠損により電荷を帯びた原子のこと
圧電材料 圧電性を示す結晶性物質の総称
圧電単結晶 圧電材料の中で、材料内部の結晶構造が均一に連続しているもの
圧電セラミックス 圧電体の中で、グレイン構造やドメイン壁構造を持つもの
グレイン構造 多結晶体にて、2つ以上の小さな結晶間に存在する界面
ドメイン壁構造 結晶内で分極方向の異なる境界が存在する構造
分極 電場や磁界に置いた際に、正負の電化が現れたり、磁極を生じたりする現象
PZT チタン酸ジルコン酸鉛(PbZrxTi1-xO3)(0<x<1)のこと
スパッタ 金属表面に高エネルギー粒子を当て、飛び出してきた原子を用いた製膜方法
CSD 金属の有機酸塩や化合物の溶液を塗布・焼成して薄膜形成を行う方法
ゾルゲル法 CSDの一種。ゾル状態の液体を加熱、焼成させて、薄膜を得る方法
ゾル状態 液体を分散媒とするコロイド(例:石鹸水、糊、卵白、牛乳、マヨネーズなど)
ゲル状態 ゾル状態の流動性がなくなった状態
MOCVD 有機金属気相成長法、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法
フットプリント 占有面積、ここでは装置を置いた際に使用する面積のこと
圧電体 応力を加えることで、分極(電圧)が生じる誘電体のこと
焦電体 圧電体のうち、外から電界を与えなくても自発的に分極をしているもの
強誘電体 焦電体のうち、外からの電界によって分極方向を反転させる特性をもったもの
薄膜ピエゾ 圧電材料の厚さが数μm程度のピエゾのこと
バルクピエゾ 圧電材料の厚さが数十μm以上のピエゾのこと

ロームグループではお客様のアイデア・設計を実現させるため、「薄膜ピエゾMEMSファウンドリサービス」を用意しています。

> 薄膜ピエゾMEMSファウンドリ(サービス紹介)

次ページは、MEMSとそのキーテクノロジーについて簡単に説明します。

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