薄膜ピエゾMEMSピエゾ関連用語
ピエゾ関連用語
ピエゾに関連する用語について簡単に説明します。
| 用語 | 説明 |
|---|---|
| ピエゾ(Piezo) | 圧電素子（ piezoelectric element、piezoelectric device）のこと |
| 圧電効果 | 力（圧力）を加えることで、電圧が発生する現象 |
| 逆圧電効果 | 電圧加えることで、変形が現れる現象 |
| 圧電素子 | 圧電効果、逆圧電効果を利用した部品、デバイス |
| センサ | 現象や情報などを科学的原理を応用し、電気信号などに置き換える装置 |
| アクチュエータ | 電気などのエネルギーを機械的な動きに変換し、機器を動かす駆動装置 |
| イオン | 電子の過剰、または欠損により電荷を帯びた原子のこと |
| 圧電材料 | 圧電性を示す結晶性物質の総称 |
| 圧電単結晶 | 圧電材料の中で、材料内部の結晶構造が均一に連続しているもの |
| 圧電セラミックス | 圧電体の中で、グレイン構造やドメイン壁構造を持つもの |
| グレイン構造 | 多結晶体にて、2つ以上の小さな結晶間に存在する界面 |
| ドメイン壁構造 | 結晶内で分極方向の異なる境界が存在する構造 |
| 分極 | 電場や磁界に置いた際に、正負の電化が現れたり、磁極を生じたりする現象 |
| PZT | チタン酸ジルコン酸鉛（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）のこと |
| スパッタ | 金属表面に高エネルギー粒子を当て、飛び出してきた原子を用いた製膜方法 |
| CSD | 金属の有機酸塩や化合物の溶液を塗布・焼成して薄膜形成を行う方法 |
| ゾルゲル法 | CSDの一種。ゾル状態の液体を加熱、焼成させて、薄膜を得る方法 |
| ゾル状態 | 液体を分散媒とするコロイド（例：石鹸水、糊、卵白、牛乳、マヨネーズなど） |
| ゲル状態 | ゾル状態の流動性がなくなった状態 |
| MOCVD | 有機金属気相成長法、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法 |
| フットプリント | 占有面積、ここでは装置を置いた際に使用する面積のこと |
| 圧電体 | 応力を加えることで、分極(電圧)が生じる誘電体のこと |
| 焦電体 | 圧電体のうち、外から電界を与えなくても自発的に分極をしているもの |
| 強誘電体 | 焦電体のうち、外からの電界によって分極方向を反転させる特性をもったもの |
| 薄膜ピエゾ | 圧電材料の厚さが数μm程度のピエゾのこと |
| バルクピエゾ | 圧電材料の厚さが数十μm以上のピエゾのこと |
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次ページは、MEMSとそのキーテクノロジーについて簡単に説明します。
