加速度センサIC

ロームの加速度センサはKionix™ Technologyを用いた、MEMSの静電容量式加速度センサです。耐衝撃性や温度特性に優れた、2x2mmの小型パッケージです。モバイル製品や家電、オフィス機器などの民生用途や、FA機器や産業用ロボット、工作機械などの産機用途でお使い頂けるラインナップをご用意しております。

Kionix™ Technology
Kionix™ Technologyとは、独自のプラズマ微細加工と、シリコンのリッドウェハをデバイスウェハにウェハレベルで貼りつけて封止する技術です。加速度を検出するセンスエレメントは、固定電極、可動電極、スプリングで構成されています。独自のプラズマ微細加工により高精度で深堀りすることで、これらをシリコンウェハ上に形成することを可能にしています。シリコンのリッドウェハをこれらの構造を形成したデバイスウェハにウェハレベルで貼り付けて封止する高度な技術により、センスエレメントが完成します。ROHMの静電容量MEMSは、Kionix™ Technologyで作られており卓越した性能を発揮します。

Kionix™はローム株式会社の商標または登録商標です。