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軽・薄・小!圧電MEMS超音波 トランスデューサ

募集内容
軽量・薄型・小型に加え、高出力の特長を備えた「圧電MEMS超音波トランスデューサ」を活用して、新たなアプリケーションの開拓と価値創出を共に目指す社会実装パートナーを募集します。
活用していただきたいデバイス・技術
  • ■圧電MEMS超音波トランスデューサ
  • ■圧電MEMS超音波トランスデューサ評価ボード

*上記のサンプル支給の条件は、お問い合わせください。

マッチングポイント
軽量・薄型・小型の超音波トランスデューサにご関心のある企業・研究機関の皆さまと、業種や分野を問わず、パートナーとして連携・協力できることを心より願っております。
検討の初期段階からご相談いただけますので、ご質問等がございましたらお気軽にお問い合わせください。

1. 従来の超音波トランスデューサの課題

従来の超音波トランスデューサは、主に以下の3つの課題を抱えていました。

  • ■形状の制約(大型・厚型)
    構造上の制限から大型かつ厚みのある形状となり、小型化・薄型化が求められるスマートフォンやウェアラブル機器などへの搭載が困難でした。
  • ■出力の限界
    従来の構造では超音波の発振源を高密度に配置することが難しく、高精度なセンシングや対象物への効果的な作用(触覚提示など)に求められる十分な出力(音圧)を得ることが困難でした。
  • ■周波数対応範囲の狭さ
    特定の周波数帯でしか効率的に動作せず、対応できる周波数範囲が限定的でした。そのため、用途ごとに最適な周波数を選択したり、複数の周波数帯を活用したりする高度な応用が困難でした。

2. 提供できる価値

圧電薄膜技術とMEMS技術により、従来は困難だった大幅な軽量・薄型・小型化を実現。あらゆる機器への搭載可能性を広げます。

■軽量・薄型・小型を実現

圧電薄膜技術とMEMS技術により、従来は困難だった大幅な軽量・薄型・小型化を実現。あらゆる機器への搭載可能性を広げます。

■高出力化を達成

MEMS技術を活かし、高精度なアレイ状に超音波発振源を配置することで、超音波の出力特性飛躍的に向上。パワフルで高精度な応用を実現します。

■広範な周波数に対応

超音波発振源の設計自由度が高く、周波数範囲を20kHz~400kHzまで柔軟に調整可能です。これにより、用途に合わせた最適な製品開発や、新たなアプリケーション創出に貢献します。

図.1 圧電MEMS超音波アレイトランスデューサとデバイス構造

< センサ特性 >

センサ性能指数
SNR > 60

< 距離特性 >

測距距離
約6m

図2. 超音波トランスデューサをセンサ用途に想定した特性例

3. 圧電MEMS超音波トランスデューサの活用例

下記は一例です。

-ウェアラブル機器

-小型ロボット・移動機器向けの障害物検知

-非接触操作

4. 圧電MEMS超音波トランスデューサ評価ボード

圧電MEMS超音波トランスデューサをすぐにお試しいただける評価ボードをご用意しています。
センサの特性をすぐにご評価いただけます。
※入手をご希望の方は、ページ下部にございますお問い合わせフォームよりご連絡ください。

まとめ

ロームでは、圧電技術及びMEMS技術の研究開発を長年にわたり推進し、社会実装に取り組んできました。今回ご紹介する「圧電MEMS超音波トランスデューサ」は、これまでの技術を進化させ、従来にはない軽量・薄型・小型でありながら高出力という特長を実現した新しいデバイスです。
この技術が多様なアプリケーションに活用され、新たな価値の創出や社会課題の解決につながることを期待しています。
本取り組みに共感いただける企業・研究機関の皆さまと連携し、ともに技術を育てていけることを願っております。

ロームが提供できるもの

  • ・圧電MEMS超音波トランスデューサ
  • ・圧電MEMS超音波トランスデューサ評価ボード

お互いが得られるメリット

  • ・新規市場の獲得
  • ・社会課題の解決に貢献する技術の活用

開発者の声

圧電薄膜技術とMEMS技術を融合することで、小型かつ高出力の特長を持つ超音波トランスデューサを開発しました。今後、このトランスデューサの特長を活かし、さまざまな産業分野での活用と新たなパートナーとの出会いに期待しています。
新たなアプリケーションの創出をご一緒できることを楽しみにしております。