「8インチ次世代SiC MOSFETの開発」がNEDOグリーンイノベーション基金事業に採択

2022年2月25日

ローム株式会社（以下、ローム）は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（以下、NEDO）から公募された「グリーンイノベーション基金事業／次世代デジタルインフラの構築」プロジェクトの研究開発項目の一つである「次世代パワー半導体デバイス製造技術開発」に対して、「8インチ次世代SiC MOSFETの開発」（以下、本事業）を提案し、採択されました。

「グリーンイノベーション基金」は、2020年12月25日に経済産業省が関係省庁と策定した「2050年カーボンニュートラルに伴うグリーン成長戦略」の中で「経済と環境の好循環」を作り出すために組成された基金です。
「次世代デジタルインフラの構築」プロジェクトは、カーボンニュートラル社会の実現に不可欠なデジタルインフラの省エネ化・高性能化に向けた研究開発・社会実装を進めることを目的としており、本事業では、次世代パワー半導体の製造技術を高めることで、電動車や産業機器をはじめとする幅広い機器・設備への普及促進を目指しています。

ロームが研究開発・事業化において先行してきたSiCパワー半導体は、従来のSiパワー半導体に比べて電力損失が極めて小さく、採用機器の小型化・軽量化も可能なことから、デジタルインフラの省エネ化・高性能化に大きく貢献すると期待されています。ロームは本事業を通して、大口径ウエハ（8インチ）を用いたプロセス技術・製造技術の開発に取り組むとともに、同ウエハを活用した次世代SiC MOSFETの開発・量産を加速し、さまざまな機器の省エネ・小型化に貢献することで、持続可能な社会の実現を目指してまいります。

 

NEDO事業イメージ

 

「グリーンイノベーション基金事業／次世代デジタルインフラの構築」プロジェクトの詳細は、
NEDOニュースリリースをご参照ください。https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101513.html

 
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