ロームのセンサ

ロームの薄膜ピエゾMEMS
ソリューションサービス

ロームは強誘電体がもつ多くの技術革新性に注目し、長年研究開発を進めてきました。ロームの薄膜ピエゾMEMSソリューションは、その技術と異種材料マネジメントシステムの経験を活かした信頼性・安定性の高い独自の生産装置により薄膜ピエゾとLSI微細加工技術を高度に融合させることができます。お客様との共同開発によって「これまで見たこともない」「経験したこともない」「想像もつかない」省エネ・小型・高機能の製品の実現を約束します。

高性能薄膜ピエゾ形成技術

ローム独自のPZTsol-gel成膜によって、2.0μm±2.5%の膜厚均一性を達成しています。

PZT膜厚レンジ 2.5%
圧電定数d31 -190pm/V
比誘電率εr 1,000
誘電損失 tanδ 0.02~0.03
リーク電流 <1μA/cm2@40V
写真 - 2μm line pattern

2μm line pattern

~100μm極薄ウエハのハンドリング・接合技術

  • 60℃の低温でも接合可能
  • ±3μmのアライメント精度
  • 全自動装置で量産効率向上

Si深堀エッチング技術

酸化膜に対する選択比

0.5μm厚の酸化膜でエッチングが止まっている
選択比Si/SiO2=230

垂直形状

深さ200μmのホールを90.5°でエッチングを達成
ノッチングフリー形状

寸法精度

25±0.25μm(1%)