ロームが酸化亜鉛(ZnO)系材料を用いた超小型高精度紫外線センサを開発！

ローム株式会社（本社：京都市）はこのほど、酸化亜鉛（ZnO）系材料を用いた紫外線センサの開発に成功しました。この紫外線センサでは、UV（Ultra-Violet：紫外線）領域を帯域別に計測でき、例えば皮膚を黒くする紫外線であるUV-A(λ=400-320nm)、水ぶくれや赤いただれを生じさせてしまうUV-B(λ=320-280nm)の2つの波長域別に測定できます。これによりユーザーはきめ細かい情報を入手でき、より適切な紫外線対策を施すことができます。また、光学フィルタが必要なく、非常に小さく作ることが可能になりました。今後は量産技術の確立を急ぎ、2010年度の量産化を目指したいと考えています。

紫外線は、人間の健康への悪影響が広く知られており、紫外線センサ市場は拡大しつつあります。従来の紫外線センサでは、紫外線の曝露量を知るために、紫外線があたると色が変わるシート系のものや、シリコン系のフォトダイオードを転用したセンサを用いていました。しかしながら、シート系のものは精度が良くない上に繰り返し使えない、またフォトダイオードを転用したものは、可視光領域でのシリコン自身の吸収のために紫外線だけを取り出して測定することができないため可視光カットフィルタが必要でセンサが大きくなってしまう、などの課題がありました。今回ロームでは、シリコンプロセスの技術を応用して酸化亜鉛系材料の薄膜を形成し、可視光で透明に、紫外光で不透明になり、かつ材料組成で吸収波長域を制御できるという酸化亜鉛固有の物性（図1参照）を用いたセンシングを実現しました。これにより波長域毎のセンシングが小型サイズで実現することが可能となり、紫外線センサの小型化、携帯電話やポータブルデバイスなどへの応用展開が可能となります。

ロームでは、物性に優れ、安価かつ材料調達が容易な酸化亜鉛に着目し、東北大学と共同で研究しているLEDなど様々なデバイスの研究開発を進めております。また、健康、医療といった分野に着目し、エレクトロニクス産業の裾野を広げていきたいと考えています。今回の紫外線センサのみならず、今後とも新材料をこれまで培った半導体、プロセス技術と複合、融合化させ、新市場に展開していきたいと考えております。